Interferometric Metrology of Dynamic Properties of MEMS
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
Mems Metrology Using a Strobed Interferometric System
− Accurate measurements of MEMS surfaces, geometries and motions are crucial to achieving the desired performance of the devices. The wide variety of MEMS devices in development and production requires very flexible metrology for single-platform characterization. In addition to having greatly varying geometries, devices must also be characterized statically and under actuation. White-light inte...
متن کاملdynamic coloring of graph
در این پایان نامه رنگ آمیزی دینامیکی یک گراف را بیان و مطالعه می کنیم. یک –kرنگ آمیزی سره ی رأسی گراف g را رنگ آمیزی دینامیکی می نامند اگر در همسایه های هر رأس v?v(g) با درجه ی حداقل 2، حداقل 2 رنگ متفاوت ظاهر شوند. کوچکترین عدد صحیح k، به طوری که g دارای –kرنگ آمیزی دینامیکی باشد را عدد رنگی دینامیکی g می نامند و آنرا با نماد ?_2 (g) نمایش می دهند. مونت گمری حدس زده است که تمام گراف های منتظم ...
15 صفحه اولcontrol of the optical properties of nanoparticles by laser fields
در این پایان نامه، درهمتنیدگی بین یک سیستم نقطه کوانتومی دوگانه(مولکول نقطه کوانتومی) و میدان مورد مطالعه قرار گرفته است. از آنتروپی ون نیومن به عنوان ابزاری برای بررسی درهمتنیدگی بین اتم و میدان استفاده شده و تاثیر پارامترهای مختلف، نظیر تونل زنی(که توسط تغییر ولتاژ ایجاد می شود)، شدت میدان و نسبت دو گسیل خودبخودی بر رفتار درجه درهمتنیدگی سیستم بررسی شده اشت.با تغییر هر یک از این پارامترها، در...
15 صفحه اولPrecision Interferometric Metrology
In this paper, we propose the use of sinusoidalfrequency modulation on a laser diode (LD) toachieve both frequency stabilization of the LDand a displacement measurement with ahomodyne interferometer. The central frequencyof the LD is stabilized to a Doppler broadened(linear) absorption or a Doppler free (saturated)absorption line of iodine (I2) molecule near thew...
متن کاملsome properties of fuzzy hilbert spaces and norm of operators
in this thesis, at first we investigate the bounded inverse theorem on fuzzy normed linear spaces and study the set of all compact operators on these spaces. then we introduce the notions of fuzzy boundedness and investigate a new norm operators and the relationship between continuity and boundedness. and, we show that the space of all fuzzy bounded operators is complete. finally, we define...
15 صفحه اولذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
سال: 2000
ISSN: 1341-8939,1347-5525
DOI: 10.1541/ieejsmas.120.381